장비 판매 (수리/교정)

AT101 (GC-ECD) 판매/수리 및 교정

LAT (Lagus Applied Technology) 추적가스 시험 장비

국내 판매/수리/교정 서비스 공식기관

육불화황(SF6)  및  PFT(Perfluorocarbon) 가스 측정

[용도]

1) 건물 환기량 측정

2) 덕트 내 유량 측정

3) 반도체 제조용 설비 추적가스 시험 적용

[적용규격]

ASTM E741, ISO 12569, ASTM E2029, SEMI S6 Tracer Gas Test 사양을 만족함

[장비사양]

a) 측정기술 : Electron Capture Gas Chromatograph with heated column and automatic back-flush

b) Detection Limit : 5 x 10-12 parts SF6 in air

c) 선형작동범위 : 100 : 1 비율로 측정 가능, 일반 측정범위는 0.05 ~ 10 ppb, 선택사항으로 100 ppb 까지 측정 가능

d) 정밀도 : 선형작동범위 내에서 ± 3 %

e) 안정성 : 내부 교정가스를 이용한 자동 교정을 사용할 경우 드리프트(Drift)는 무시할 수 있음

f) 샘플링방법 : 일회용 주사기를 활용한 분석(전면부), 내장 펌프를 활용한 샘플링 및 분석(후면부)

g) 측정주기 : 최소 60초 ~ 3분

h) 설정 : 16개 키보드를 이용한 메뉴 설정

i) 원거리제어 : RS232C를 활용한 PC와 AT101 제어가능

j) 작동모드 : 자동(Automatic) 또는 수동(Manual) 모드

k) 출력 : 32-character LCD 패널 디스플레이

l) Carrier Gas : P-5, P-10 또는 Oxygen-free nitrogen

m) 전력 : 220 V, 50/60 Hz; 1.5 Amp

n) 크기 : 22.2 x 43.2 x 47.0 cm (H x W x D)

o) 무게 : 20.5 kg

Calibrant Gas cylinder (SF6) 판매

– AT101 내부 교정용 가스 (0.1 ppb ~ 100 ppb 농도)

– NIST Traceable 교정 성적서 발급 (미국 발행)

– 1통(1L, 200 psi) 약 6개월 사용