장비 판매 (수리/교정)
AT101 (GC-ECD) 판매/수리 및 교정
![그림1](http://kftl.re.kr/wp-content/uploads/2024/05/그림1.png)
LAT (Lagus Applied Technology) 추적가스 시험 장비
국내 판매/수리/교정 서비스 공식기관
![그림2](http://kftl.re.kr/wp-content/uploads/2024/05/그림2.jpg)
육불화황(SF6) 및 PFT(Perfluorocarbon) 가스 측정
[용도]
1) 건물 환기량 측정
2) 덕트 내 유량 측정
3) 반도체 제조용 설비 추적가스 시험 적용
[적용규격]
ASTM E741, ISO 12569, ASTM E2029, SEMI S6 Tracer Gas Test 사양을 만족함
[장비사양]
a) 측정기술 : Electron Capture Gas Chromatograph with heated column and automatic back-flush
b) Detection Limit : 5 x 10-12 parts SF6 in air
c) 선형작동범위 : 100 : 1 비율로 측정 가능, 일반 측정범위는 0.05 ~ 10 ppb, 선택사항으로 100 ppb 까지 측정 가능
d) 정밀도 : 선형작동범위 내에서 ± 3 %
e) 안정성 : 내부 교정가스를 이용한 자동 교정을 사용할 경우 드리프트(Drift)는 무시할 수 있음
f) 샘플링방법 : 일회용 주사기를 활용한 분석(전면부), 내장 펌프를 활용한 샘플링 및 분석(후면부)
g) 측정주기 : 최소 60초 ~ 3분
h) 설정 : 16개 키보드를 이용한 메뉴 설정
i) 원거리제어 : RS232C를 활용한 PC와 AT101 제어가능
j) 작동모드 : 자동(Automatic) 또는 수동(Manual) 모드
k) 출력 : 32-character LCD 패널 디스플레이
l) Carrier Gas : P-5, P-10 또는 Oxygen-free nitrogen
m) 전력 : 220 V, 50/60 Hz; 1.5 Amp
n) 크기 : 22.2 x 43.2 x 47.0 cm (H x W x D)
o) 무게 : 20.5 kg
Calibrant Gas cylinder (SF6) 판매
![그림3](http://kftl.re.kr/wp-content/uploads/2024/05/그림3.jpg)
– AT101 내부 교정용 가스 (0.1 ppb ~ 100 ppb 농도)
– NIST Traceable 교정 성적서 발급 (미국 발행)
– 1통(1L, 200 psi) 약 6개월 사용